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Si+SiO2+Ti+Pt <111>
關鍵字:
進口薄膜
產品概述:
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產品名稱

Si+SiO2+Ti+Pt


常規尺寸

dia4"±0.5 mm x0.5mm   單拋;

dia2"±0.5 mm x 0.279 mm  單拋


標準包裝

1000級超凈室100級超凈袋真空包裝或單片盒裝


技術參數

薄膜度:

SiO2=300nm

Ti=0-5nm

Pt(111)50-60nm

SiO2=300nm

Ti=10nm

Pt(111)150nm

SiO2=300?nm?

Ti=10nm

Pt(111)150?nm

SiO2=300?nm?

Ti=3nm

Pt(111)60?nm

電阻率R:

<0.005 ohm.cm

1-20 ohm.cm

5-10 ohm.cm

<0.005ohm.cm

溫度參數:

 

400 ℃ / 1 hr

 

< 700~750 ℃/ 1 hr

<700~750℃ / 1 hr;

400 ℃ / 1 hr;

 

尺寸:

dia 4" x 0.5 mm

dia 4"x 0.5 mm

dia2"x0.279 mm

dia 4" x 0.5 mm


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