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小型紫外臭氧清洗機
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1100℃三溫區粉末CVD回轉爐(配381mm內徑石英管)
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常用尺寸移動爐架
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壓力可控電動扣式電池封口機
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100mm寬陶瓷涂覆輥電動軋機(可選壓力可顯示型)
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1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統
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1200℃開啟式管式爐(17英寸加熱區,帶密封法蘭和可選尺寸石英管)
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1700℃小型精確控溫 蒸發鍍膜儀
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臺式半自動絲網印刷薄膜涂布機(涂布面積250*350mm,配真空吸附工作臺)
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800℃氫氣管式爐(5英寸不銹鋼管,氫氣報警系統)
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100T電動冷等靜壓機(內徑可選50/60/80,最大壓強500Mpa))
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1100℃Φ50管式高壓爐
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三溫區1500℃ PECVD系統
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1100℃三溫區高壓高真空管式爐
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1200℃小型開啟式管式爐,帶可插入式溫度校準器和真空系統
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4工位滾筒球磨機
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1200℃微型開啟式管式爐 (200mm加熱區,帶密封法蘭和 可選尺寸石英管)
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小型金剛石線切割機
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3L數控等離子清洗機 (配真空泵,6"x6.5"石英腔室)
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1200℃三溫區PE粉體回轉爐系統
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經濟型擠壓涂覆機
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800℃ CSS/RTP快速熱蒸鍍爐(配5英寸旋轉樣品臺)
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1500℃氣氛可控型淬火爐(配有手套箱)
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1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP爐(載物臺:4英寸 升溫速度:50度/S)