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  • 小型真空箱式爐 (6L,1050℃,配溫度控制器)
  • 1200℃滑動管式爐(管徑130mm)
  • 可連續(xù)型全自動氣淬管式爐
  • 小型分體式磁控濺射儀(50mm靶頭,可選直流或射頻電源,手套箱內(nèi)可用)
  • STX-600系列金剛石線切割機
  • 1500℃三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐(配自動進料和接收系統(tǒng))
  • PECVD系統(tǒng)
  • 500oC&5T精密電動無油平板熱壓機 (135mmx135mm)
  • 立式管式爐
  • 1700℃高溫箱式爐帶觀察窗(8L,爐腔尺寸:200*200*200mm)
  • 1600℃超聲霧化CVD管式爐
  • 固態(tài)電池原位壓力變化測試系統(tǒng)
  • 手動壓力機
  • 1500℃雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐(配60mm氧化鋁管)
  • 1600℃三溫區(qū)下裝載箱式爐(72L,爐腔尺寸:400*400*450mm)
  • 1200℃高通量自動化管式爐 (130mm,可配機械手實現(xiàn)自動裝載)
  • 小型燃料電池試驗用管式爐(20mm,1000℃)
  • 雙極真空泵
  • 固態(tài)電池模具手動加壓裝置
  • 1600℃Mist/LPCVD系統(tǒng)(216mm石英腔室)
  • 200℃異步垂直熱軋機 (壓力顯示,100*100mm)
  • 滑動式三溫區(qū)管式爐PECVD系統(tǒng)
  • 管徑130滑動式單溫區(qū)管式爐PECVD系統(tǒng)
  • 三溫區(qū)搖擺管式爐

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